Kugwiriskira Ntchito Kwapadera kwa Plasma Cleaners

Makina ghakutozga/kulemba plasma ghakupanga plasma mwa kuŵika ma electrode ghaŵiri mu chiŵiya chakujalirika kuti ghapangiske magesi. Pampu ya vacuum yikugwiriskira ncito kuti paŵe mlingo unyake wa vacuum. Apo mphepo iyi yikucepa comene, mtunda uwo uli pakati pa mamolekyu na kwenda kwawanangwa kwa mamolekyu panji ayoni nawo ukusazgikira. Pakuti magesi ghakukhwaskika, ayoni agha ghakutimbana na kupanga plasma. Ma ayoni agha ghakuchitapo kanthu chomene, ndipo ghali na nkhongono zakukwana kuti ghaphwanye pafupifupi vingwe vyose vya kemiko, ndipo ghakupangiska kuti kemiko yichitengepo kanthu pa chinthu chilichose icho chikuwoneka. Ma plasma gha gasi ghakupambanapambana ghali na kemiko yakupambanapambana. Mwaciyelezgero, plasma ya oxygen yikupangiska kuti mphepo yiŵe na oxidation comene, ndipo yikupangiska kuti photoresist yiŵe na oxidation kuti yipangiske mphepo, ntheura yikukwaniska kutozga. Plasma ya mpweya wakuvunda yili na anisotropy yiwemi chomene, iyo yikukwaniska ivyo vikukhumbikwa pakulemba. Nthowa yakuchizgira na plasma yikupangiska kuti paŵe kuwala, ndicho chifukwa chake ŵakuti glow discharge.
Nthowa yakutozgera plasma yikuthemba comene pa "kugwiliskira nchito" vigaŵa vyakugwira nchito mu plasma kuti viwuskepo madontho gha pa caru capasi. Pakuyowoya za umo vinthu vikuchitikira, kutozga plasma kanandi kukukhwaskana na ndondomeko iyi: mphepo zambura kupangika zikukondweskeka kuti ziŵe nga ni plasma; vinthu vya mphepo vikunjizgika pa malo ghakukhozga; magulu agho ghakukolerana ghakuchita na mamolekyu agho ghali pa malo ghakukhora kuti ghapange mamolekyu gha vinthu; mamolekyu gha katundu ghakuvunda mu chigaŵa cha mpweya; ndipo vyakukhalapo vya vyakuchitika vikufumiskikapo pa mtunda.

Chinthu chakuzirwa chomene pa tekinoloje ya kutozga plasma ntchakuti yingachizga mtundu uliwose wa vinthu ivyo vikupangika pasi, kusazgapo vitsulo, vinthu ivyo vikupangiska kuti magesi ghaleke kuŵapo, na vinthu vinandi vyakupangika na polima nga ni polypropylene, polyester, polyimide, polyvinyl chloride, epoxy, nanga ni polytetrafluoroethylene. Iwo ungatozga malo ghose na malo ghanyake, kweniso vinthu vyakusuzga.