Vipangizo vya Plasma vya RF vyakugwiriskira Ntchito

Itumirani mafumbo

Kulongosora vya katundu

RF Plasma Equipment ya Semiconductor Applications ni chinthu chapadera chakutozga icho chikupangika kuti chiŵikemo vinthu vyapachanya vya semiconductor na ndondomeko zakuchizgira pa malo. Vipangizo ivi vikuŵa na kabati yakukhora iyo yikupangika na chisulo chapachanya, ndipo yikumalizgika na ufa wakupangika na makwinya mu mtundu utuŵa, ndipo yikupereka nyengo yitali ndiposo yikuwoneka nga njakutowa mu mafakitale. Chipinda chake chikuru cha vacuum chikupangika kufuma ku mbale za aluminiyamu zakutowa chomene izo zili na msinkhu wakukwana 25 mm, kukhozgera kuti chikugwira ntchito makora chomene ndiposo kuti chikukhazikika kwa nyengo yitali. Vigaŵa vya chipinda cha mukati ni 450 × 450 × 450 mm, ndipo vili na mbale yakujalirika chomene ya chigaŵa chimoza -chigaŵa cha magesi chakukwana 410 × 430 mm. Mabasiketi gha ntchito ghakuŵikika mwaluŵiro pa mbale ya electrode, iyo yikulumikizga ku mkuwa wa electrode base kwizira mu pulagi-mu kapangidwe, kukhozgera kuti plasma yikupangika makora na yakukhazikika pa nyengo yakugwira ntchito.

Nthowa iyi yikulaŵilirika na pulatifomu ya PLC, iyo yikupangiska kuti munthu wasinthenge pakati pa mitundu ya buku na ya otomatiki. Vyose ivyo vikugwira ntchito vingapangika, kusintha, kusungika, na kuwoneseska mu nyengo yeneco. Luso lakuphatikizgika la PID likupangiskaso kuti vinthu viŵe vyakukhozga na kurongosora makora. Maphikiro ghanandi gha ndondomeko ghangasungika na kukumbukika umo vikukhumbikwira, ivyo ni vyakovwira chomene ku malo agho ghakukhumbikwira kusintha ndondomeko pafupipafupi. Nthowa ya vacuum yikulongozgeka na seti ya pampu yakuuma, iyo yikupereka liwiro la kupopa mwaluŵiro, ndipo chipinda chikufika pa mlingo wakukhumbikwa wa vacuum mu masekondi 100.

RF Plasma Equipment inside for Semiconductor Applications

Mazgu ghakuzirwa ghakukhwaskana na luso ghakusazgapo plasma pafupipafupi ya 13.56 MHz, na nkhongono ya RF iyo yikusinthika nyengo zose kufuma pa 0 kufika pa 600 W. Nkhongono zikuru zikupimika pa 380 V AC (± 10%), 50/60 Hz, nkhongono zitatu -phase zinkhondi -waya dongosolo, ndipo nkhongono zose za equip Kuyenda kwa mpweya kungalongozgeka makora pakati pa 0 na 200 ml / min kuti kukhozgere ndondomeko zakupambanapambana zakukhumbikwa.

Pakuyowoya za kugwiriskira ncito, vipangizo ivi vikugwira nchito yikuru comene pa kuŵika vinthu mu mathumba gha semiconductor, comenecomene pambere waya wandakolerane (W / B). Kutozga na plasma kukuwuskapo makora vyakukhalapo vya vyamoyo ivyo vikukhala mu ma chip pads, kukupangiska kuti pa malo ghaŵe ghakugwira ntchito, ndiposo kukupangiska kuti paŵe maji ghakunyeŵa. Chifukwa cha ichi, waya wakukolerana ukukhozgeka, nkhongono ya bond yikukura, ndipo chiwopsezgo chakuti ŵangapatukana chikuchepa chomene. Nthowa iyi yikovwira pa kupanga vinthu vinandi na kuŵika vinthu pa kaseti, ndipo ivi vikovwira awo ŵakupanga kuti ŵasinthe chida ichi kuyana na umo ŵakupangira vinthu na ivyo ŵakukhumba.

Na chipinda chake chakukhora, kulamulira mwakukwana, na nkhongono za ndondomeko yakusinthasintha, chipangizo ichi cha plasma cha RF chikupereka yankho lakugomezgeka na lakunozga la kufiska mtundu wapamwamba -, wakuwerezgawerezga vyakuchitika pa malo ghakupangika na semiconductor.

Tag yakutentha: rf zipangizo za plasma zakugwiriskira ntchito pa semiconductor, China rf zipangizo za plasma zakugwiriskira ntchito pa semiconductor ŵakupanga, fakitare